Pat

J-GLOBAL ID：200903018245550156

クリーンルーム用イオナイザ

Inventor： 鈴木 政典
Applicant, Patent owner： 株式会社テクノ菱和
Agent (1)： 木内 光春
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1991172809
Publication number (International publication number)：1993021131
Application date： Jul. 12, 1991
Publication date： Jan. 29, 1993
Summary：

【要約】【目的】 電極に高電圧を印加し放電を起こしても、除電性能は低下せずに、電極の摩耗が防止され、重金属の飛散によるクリーンルーム内の汚染が低減されるクリーンルーム用イオナイザを提供することである。【構成】 クリーンルーム用イオナイザ1の針状電極2に、ニッケル3をメッキ等により重ね合わせ積層構造とする。これによって、ニッケルの耐摩耗性が向上され、電極の摩耗率が大幅に低減することができる。

Claim (excerpt)：

静電気除去のためのクリーンルーム用イオナイザにおいて、表面に本体の構成材料以外の金属を重ね合わせ積層構造としたイオン発生電極を備えたことを特徴とするクリーンルーム用イオナイザ。

IPC (3)：

H01T 19/04 ,  H01T 23/00 ,  H05F 3/04

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (3)

• 特開平3-269980
  
• 特開平2-012172
  
• 特開昭62-241807