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J-GLOBAL ID：200903018249143105

赤外線検出器及びこれを用いたガス検出器

Inventor： 本多 由明
Applicant, Patent owner： 松下電工株式会社
Agent (1)： 佐藤 成示 (外1名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1997201071
Publication number (International publication number)：1999044583
Application date： Jul. 28, 1997
Publication date： Feb. 16, 1999
Summary：

【要約】【課題】 吸収膜の膜厚を大きくすることなしに、赤外線を検出することのできる赤外線検出器を提供する。【解決手段】 半導体基板1と支持膜2によりダイアフラム構造あるいはマイクロブリッジ構造を形成し、支持膜2上に赤外線を吸収する吸収膜7と、吸収膜7の温度変化を検出する温度検出膜3を形成してなる赤外線検出器において、吸収膜7の厚みを、検出する赤外線の波長の1/4の長さの整数倍となるようにした。

Claim (excerpt)：

半導体基板と支持膜によりダイアフラム構造あるいはマイクロブリッジ構造を形成し、前記支持膜上に赤外線を吸収する吸収膜と、該吸収膜の温度変化を検出する温度検出膜を形成してなる赤外線検出器において、前記吸収膜の厚みを、検出する赤外線の波長の1/4の長さの整数倍となるようにしたことを特徴とする赤外線検出器。

IPC (4)：

G01J 5/20 ,  G01J 1/02 ,  G01J 5/02 ,  G01N 21/61

FI (4)：

G01J 5/20 ,  G01J 1/02 C ,  G01J 5/02 J ,  G01N 21/61