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J-GLOBAL ID：200903018279292016

走査ステージ装置およびこれを用いた露光装置

Inventor： 是永 伸茂
Applicant, Patent owner： キヤノン株式会社
Agent (1)： 阪本 善朗
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1996177412
Publication number (International publication number)：1998012538
Application date： Jun. 18, 1996
Publication date： Jan. 16, 1998
Summary：

【要約】【課題】 レチクルステージのガイドの磁気的ヒステリシスによるトラブルを回避する。【解決手段】 レチクルステージ3は、セラミック製のガイド2上を、リニアモータ固定子4,5と、リニアモータ可動子6,7からなるリニアモータによってY軸方向に走査される。レチクルステージ3の裏面には、一対のエアパッド21,22とその間に配設された予圧ユニット23からなる下向きのエアパッドユニット13等が設けられ、予圧ユニット23は、ガイド2と別体である磁性体24に対向し磁気吸引力によってエアパッド21,22の軸受剛性を強化する。ガイド2全体を焼き入れ鋼のような磁気的ヒステリシスのある磁性材料によって形成する必要はない。

Claim (excerpt)：

案内手段に沿って移動自在である走査ステージと、これを移動させる駆動手段と、前記走査ステージと前記案内手段の間を非接触に保つための静圧軸受手段と、前記案内手段と別体である第1の磁気手段とこれに対向するように前記走査ステージに保持された第2の磁気手段からなる予圧手段を有する走査ステージ装置。

IPC (6)：

H01L 21/027 ,  G03B 27/32 ,  G03B 27/58 ,  G03F 7/20 521 ,  H01L 21/68 ,  H02K 41/02

FI (8)：

H01L 21/30 518 ,  G03B 27/32 F ,  G03B 27/58 ,  G03F 7/20 521 ,  H01L 21/68 K ,  H02K 41/02 C ,  H01L 21/30 515 F ,  H01L 21/30 515 G