Pat

J-GLOBAL ID：200903018296207340

ウエハプローバ

Inventor： 河合 誠 ,  山脇 正雄
Applicant, Patent owner： 三菱電機株式会社
Agent (1)： 早瀬 憲一
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1992199136
Publication number (International publication number)：1994021166
Application date： Jun. 30, 1992
Publication date： Jan. 28, 1994
Summary：

【要約】【目的】 プローブカードとウエハの平行度のずれをチャックトップ側で調整し、均一な針圧を得る。またプローブカードの傾きを非接触で検出できるようにする。【構成】 チャックトップ内に圧電素子43を挿入し、チャックトップ上段のステージ42を傾けられるようにする。またプローブカードを装着したDUTボードを圧電素子で傾けられるようにする。また、プローブカードにレーザ光を照射する等してプローブカードの傾きを非接触で検出する。

Claim (excerpt)：

ウエハを搭載し搬送するためのステージ(以下、チャックトップと称す)を有するウエハプローバにおいて、上記チャックトップは、そのウエハ搭載面をその本来の位置より傾かせる傾斜付与手段を有することを特徴とするウエハプローバ。