Pat
J-GLOBAL ID:200903018306195877
リチウム二次電池用電極の製造方法
Inventor:
,
Applicant, Patent owner:
Agent (1):
目次 誠 (外1名)
Gazette classification:公開公報
Application number (International application number):2002108256
Publication number (International publication number):2003303587
Application date: Apr. 10, 2002
Publication date: Oct. 24, 2003
Summary:
【要約】【課題】 集電体1上に活物質からなる薄膜を堆積して形成するリチウム二次電池用電極の製造方法において、集電体1の機械的特性を低下させずに、高い成膜速度で活物質薄膜を集電体1上に堆積させる。【解決手段】 集電体1上に形成される活物質薄膜が、集電体上に形成される界面層と、該界面層上に形成される活物質層とから構成されており、界面層がRFスパッタ源4によるRFスパッタ法により形成され、活物質層がDCパルススパッタ源5によるDCパルススパッタ法により形成されることを特徴としている。
Claim (excerpt):
集電体上に活物質からなる薄膜を堆積して形成するリチウム二次電池用電極の製造方法において、前記薄膜が、集電体上に形成される界面層と、該界面層上に形成される活物質層とから構成されており、前記界面層がRFスパッタリング法により形成され、前記活物質層がDCスパッタリング法またはDCパルススパッタリング法により形成されることを特徴とするリチウム二次電池用電極の製造方法。
IPC (5):
H01M 4/04
, H01M 4/02
, H01M 4/38
, H01M 4/66
, H01M 10/40
FI (5):
H01M 4/04 A
, H01M 4/02 B
, H01M 4/38 Z
, H01M 4/66 A
, H01M 10/40 Z
F-Term (39):
5H017AA03
, 5H017AS02
, 5H017BB17
, 5H017BB19
, 5H017CC01
, 5H017DD05
, 5H017EE01
, 5H017EE04
, 5H017HH03
, 5H017HH07
, 5H029AJ11
, 5H029AJ14
, 5H029AK03
, 5H029AL11
, 5H029AM03
, 5H029AM05
, 5H029AM07
, 5H029BJ04
, 5H029BJ12
, 5H029CJ24
, 5H029CJ28
, 5H029CJ30
, 5H029DJ18
, 5H029HJ04
, 5H029HJ15
, 5H050AA14
, 5H050AA19
, 5H050BA17
, 5H050CA08
, 5H050CB11
, 5H050DA04
, 5H050FA02
, 5H050FA08
, 5H050FA20
, 5H050GA24
, 5H050GA27
, 5H050GA29
, 5H050HA04
, 5H050HA15
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