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J-GLOBAL ID：200903018309864966

荷電粒子ビーム顕微鏡

Inventor： 島山 八郎
Applicant, Patent owner： 日本電子株式会社
Agent (1)： 井島 藤治 (外1名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1993225825
Publication number (International publication number)：1995078585
Application date： Sep. 10, 1993
Publication date： Mar. 20, 1995
Summary：

【要約】【目的】 より低い倍率を簡単な構成で観察できる荷電粒子ビーム顕微鏡を実現する。【構成】 cpuから倍率制御回路内のデータ変換回路19には、倍率設定信号と電子ビームの加速電圧に応じた加速電圧連動信号とが供給される。この2つの信号からデータ変換回路19は、倍率に応じた信号出力が偏向増幅器17,18から偏向器5,6に供給されるように、偏向増幅器17,18の増幅度を制御し、また、DA変換器15,16のディジタル入力信号を出力する。例えば、加速電圧30kV、倍率100倍まで偏向増幅器17,18の出力が飽和しない装置を仮定すると、加速電圧30kVで倍率100倍以上では加速電圧が一定とされるが、倍率が100倍未満となると、その倍率に応じた加速電圧となるように加速電圧発生回路が制御される。

Claim (excerpt)：

荷電粒子ビーム源と、荷電粒子ビーム源からの荷電粒子ビームを試料上に細く集束するための集束レンズと、試料上で荷電粒子ビームを2次元的に走査するための偏向器と、試料への荷電粒子ビームの照射によって得られた信号を検出するための検出器と、検出器の出力信号に基づいて試料の走査領域の像を表示する表示手段と、荷電粒子ビームを加速するための加速電圧を発生する加速電源と、偏向器への走査信号強度を調整する倍率調整回路と、設定倍率が所定倍率以上の場合には、倍率調整回路で倍率の調整を行い、設定倍率が所定倍率以下の場合には、加速電源からの加速電圧を変化させて倍率の調整を行う制御手段とを備えた荷電粒子ビーム顕微鏡。

IPC (3)：

H01J 37/248 ,  H01J 37/22 501 ,  H01J 37/28