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J-GLOBAL ID：200903018330765749

X線検査装置およびX線検査補修装置

Inventor： 藤井 正司 ,  宇山 喜一郎 ,  土屋 武雄 ,  森 三樹 ,  鈴木 博勝
Applicant, Patent owner： 株式会社東芝
Agent (1)： 則近 憲佑
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1994097796
Publication number (International publication number)：1995306165
Application date： May. 12, 1994
Publication date： Nov. 21, 1995
Summary：

【要約】【目的】 比較的広い検査領域を有する被検体の検査位置を効率的に制御して被検体の検査を適確に行う。【構成】 被検体3が機構部5で移動する間にX線管1から放射されたX線で透過され、X線データ収集部101に透視画像として取り込まれることにより、移動中に多方向の透視画像が得られる。透視データはデータI/O106を介して中央制御装置100の画像メモリ107に取り込まれ、加算平均部108でピント面に応じたシフト量を与えた透視画像を作成し、画像加算を行い、所望のピント面の断面像を得る。被検体であるPWBの実装データはCAD117から画像メモリ107に取り込み、X線ジオメトリで決まる透視画像の大きさに合うような倍率変換を画像処理部109で行う。得られたラミノ画像とCAD図形のイベントを合わせて加算し、合成画像を作成する。

Claim (excerpt)：

放射線源、該放射線源に対向して配設された2次元の放射線検出領域を有する放射線検出手段、前記放射線源と放射線検出手段の間に設けられた被検体に対して多くの方向から透視画像を得ることができるように被検体を移動させる移動手段、得られた透視画像と透視方向の情報から所望の面の断面像を再構成するラミノグラフ画像再構成手段を有するラミノグラフィ装置において、画像および図形情報を任意の倍率に変換し得る画像拡大縮小手段と、画像および図形情報を表示する表示手段と、得られた透視画像または該透視画像から再構成されたラミノ画像および被検体の形状を表す図形を同一の縮尺で合成した合成画像を作成する合成画像作成手段とを有し、前記合成画像、透視画像またはラミノ画像を画像表示手段に表示できることを特徴とするX線検査装置。

IPC (7)：

G01N 23/04 ,  G01B 15/00 ,  G06T 7/00 ,  G06T 1/00 ,  G09G 5/36 520 ,  H01L 21/66 ,  H04N 7/18

FI (2)：

G06F 15/62 405 Z ,  G06F 15/66 450