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J-GLOBAL ID：200903018345081293

走査電子顕微鏡の試料ホルダー

Inventor： 樋岡 美紀子
Applicant, Patent owner： 日本電子株式会社
Agent (1)： 井島 藤治 (外1名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1995048433
Publication number (International publication number)：1996250057
Application date： Mar. 08, 1995
Publication date： Sep. 27, 1996
Summary：

【要約】【目的】 簡単な構成で試料を冷却して走査電子顕微鏡観察を行うことができる走査電子顕微鏡の試料ホルダーを実現する。【構成】 外側ホルダー1の内側に内側ホルダー4を配置し、内側ホルダー4の内部に冷却水5を入れ、更に試料載せ台6上に試料7を載せる。その後、ホルダーを走査電子顕微鏡の試料室内の試料ステージに取り付け、試料室内を真空に排気する。この結果、試料室内の真空度に応じて内側ホルダー4内の冷却水は気化し、この気化熱により試料載せ台6上の試料7は冷却される。

Claim (excerpt)：

外側ホルダーと、外側ホルダーに熱絶縁されて支持され、その中に冷却水が入れられる内側ホルダーと、内側ホルダー内に設けられた試料載せ台とを備えた走査電子顕微鏡の試料ホルダー。