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J-GLOBAL ID：200903018354351120
異物検査装置
Inventor：
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Applicant, Patent owner：
Agent (1)：
早瀬 憲一
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1992109215
Publication number (International publication number)：1993281130
Application date： Mar. 31, 1992
Publication date： Oct. 29, 1993
Summary：
【要約】【目的】 異物の粒径を正確に推定できる異物検査装置を得る。【構成】 各々のへたり領域が重ならないように選択された波長λ1 ,波長λ2を有する第1,第2のレーザ1,2からのレーザ光をハーフミラー3で同一光軸上に重ねてウエハ12上に照射し、発生する散乱光を波長分岐型ビームスプリッター5を通して波長ごとに分けて検出し、波長λ1 の照射光の散乱光強度と異物の粒径が1対1対応の領域に入っている場合は波長λ1 の散乱光により異物の粒径を推定し、波長λ1 の照射光の散乱光強度と異物の粒径が1対多領域に入っている場合は、1対1対応を保っている波長λ2 の散乱光より異物径を推定する。【効果】 異物の粒径を正確に推定することができ、推定精度を向上できる。
Claim (excerpt)：
複数の波長の異なるレーザ光を、同一光軸上で検査領域に照射する照射手段と、検査領域中の異物の散乱光強度を、照射レーザ光の波長毎に分離して測定する測定手段と、検出された複数の波長の散乱光強度から、異物の粒径を推定する演算手段とを備えたことを特徴とする異物検査装置。
IPC (3)：
G01N 15/02
, G01B 11/08
, H01L 21/66
