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J-GLOBAL ID：200903018380929998

水晶振動子の製造方法

Inventor：
坂口 能一

About 坂口 能一


Applicant, Patent owner：
シチズン時計株式会社

About シチズン時計株式会社


Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1999114627
Publication number (International publication number)：2000307367
Application date： Apr. 22, 1999
Publication date： Nov. 02, 2000
Summary：
【要約】【課題】 本発明は移動体通信機器などの周波数基準源に必要である高精度の水晶振動子に関するもので、特に経時変化が非常に優れた表面実装型の水晶振動子の製造方法を提供するものである。【解決手段】 水晶振動子を構成するパッケージのベース101にシリコン系接着剤103を塗布した後、水晶片105を支持固定し、気密封止を行う前に、真空中で熱処理を行う。この製造方法を用いることにより、周波数の経時変化が非常に優れた水晶振動子を製造することが可能となり、従来の製造方法では実現し得なかった±0.5ppm以下といった非常に優れた経時変化特性を有する水晶振動子を実現することが可能となる。
Claim (excerpt)：
水晶振動子を構成するパッケージのベースにシリコン系接着剤を塗布し、水晶片を支持固定し、10-3Torr以下の真空中で250°C以上400°C以下、1時間以上10時間以下の熱処理を行った後、真空中で気密封止を行うことを特徴とする水晶振動子の製造方法。
IPC (5)：
H03H 3/02 ,  H01L 23/02 ,  H03H 9/02 ,  H03H 9/10 ,  H03H 9/19
FI (5)：
H03H 3/02 B ,  H01L 23/02 C ,  H03H 9/02 L ,  H03H 9/10 ,  H03H 9/19 A
F-Term (20)：
5J108BB02 ,  5J108DD02 ,  5J108EE03 ,  5J108EE04 ,  5J108EE07 ,  5J108EE17 ,  5J108EE18 ,  5J108GG03 ,  5J108GG08 ,  5J108GG09 ,  5J108GG11 ,  5J108GG15 ,  5J108GG16 ,  5J108GG17 ,  5J108GG20 ,  5J108GG21 ,  5J108KK03 ,  5J108KK04 ,  5J108MM02 ,  5J108MM04
Patent cited by the Patent：
Cited by examiner (4)
  • 表面実装型水晶振動子
    Gazette classification：公開公報   Application number：特願平8-056596   Applicant：シチズン時計株式会社
  • 特開昭61-150405
  • 弾性表面波デバイス
    Gazette classification：公開公報   Application number：特願平3-225643   Applicant：株式会社日立製作所
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