全固体薄膜電池、その製造方法およびその製造装置

Inventor： , , , , , , ,
Applicant, Patent owner： ,
Agent (2)：渡辺征一 , 川嶋正章
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2007231596
Publication number (International publication number)：2009064667
Application date： Sep. 06, 2007
Publication date： Mar. 26, 2009
Summary：

【課題】内部抵抗を低減した全固体薄膜電池、その製造方法およびその製造装置を提供する。【解決手段】正極層2を気相プロセスにより形成する工程、固体電解質層3を気相プロセスにより形成する工程、および負極層4を気相プロセスにより形成する工程を備え、真空引きの周囲雰囲気内で、基材1を一定方向に駆動しながら、それぞれの気相プロセスをそれぞれ定位置で連続して施して正負極層および固体電解質層を基材上に形成することを特徴とする。【選択図】図1

Claim (excerpt)：

基材上に正負極層および固体電解質層を備える全固体薄膜電池の製造方法であって、前記正極層を気相プロセスにより形成する工程、前記固体電解質層を気相プロセスにより形成する工程、および前記負極層を気相プロセスにより形成する工程を備え、真空引きの周囲雰囲気内で、前記基材を一定方向に駆動しながら、前記それぞれの気相プロセスをそれぞれ定位置で連続して施して前記正負極層および固体電解質層を前記基材上に形成することを特徴とする、全固体薄膜電池の製造方法。

IPC (3)：

H01M 10/36 , H01M 4/58 , H01M 4/02

FI (5)：

H01M10/00 117 , H01M10/00 107 , H01M10/00 102 , H01M4/58 101 , H01M4/02 106

F-Term (33)：

5H029AJ06 , 5H029AK05 , 5H029AL12 , 5H029AM12 , 5H029BJ04 , 5H029BJ12 , 5H029CJ06 , 5H029CJ07 , 5H029CJ12 , 5H029CJ24 , 5H029CJ28 , 5H029CJ30 , 5H029DJ09 , 5H029DJ12 , 5H029HJ14 , 5H029HJ15 , 5H029HJ20 , 5H050AA12 , 5H050BA16 , 5H050CA11 , 5H050CB12 , 5H050FA02 , 5H050FA12 , 5H050FA18 , 5H050GA08 , 5H050GA09 , 5H050GA12 , 5H050GA24 , 5H050GA27 , 5H050GA29 , 5H050HA12 , 5H050HA15 , 5H050HA17

Patent cited by the Patent：

Cited by applicant (1)

リチウム二次電池の製造方法および製造装置
Gazette classification：公開公報 Application number：特願2001-190599 Applicant：三洋電機株式会社

Cited by examiner (4)

エネルギーデバイス及びその製造方法
Gazette classification：公開公報 Application number：特願2003-328628 Applicant：松下電器産業株式会社
リチウム電池及びリチウム二次電池
Gazette classification：公開公報 Application number：特願2001-265244 Applicant：三洋電機株式会社
電池及びその製造方法
Gazette classification：公開公報 Application number：特願2003-354164 Applicant：松下電器産業株式会社

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