Pat

J-GLOBAL ID：200903018396661804

電気計測装置

Inventor： 竹内 恒一郎 ,  笠原 征夫
Applicant, Patent owner： 株式会社テラテック
Agent (1)： 井出 直孝
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1994075089
Publication number (International publication number)：1994347522
Application date： Apr. 13, 1994
Publication date： Dec. 22, 1994
Summary：

【要約】【目的】 電子デバイスの開発または製造過程において、高速電気波形を高速時間分解能、高精度空間分解能で集積回路の内部等をも含む任意の測定点で計測する。【構成】 尖塔形状を有する端子をきわめて被測定物に近接させる。この端子は光学活性物質で形成されており、そのままでは電気的に非導通であり被測定物に対する電気的影響も皆無である。ここで、この端子に光パルスを照射すると端子は導体となり被測定物との間に電流が流れて被測定物の電位が測定できる。【効果】 従来不可能であった高速電気波形の計測を可能とし、高精度空間分解能での端子位置のモニタ、制御、測定点の特定等を可能とし、安価で信頼性の高い計測を実現することができる。

Claim (excerpt)：

被測定電子デバイスに近接させる針状プローブと、この針状プローブに流れる電流を計測する手段とを備えた電気計測装置において、前記針状プローブが光学活性物質を含み、この針状プローブに前記光学活性物質を導通状態とする強度のパルス光を照射する手段を備えたことを特徴とする電気計測装置。

IPC (2)：

G01R 31/302 ,  G01R 19/00

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (3)

• 特開平1-182767
  
• 特開昭61-041973
  
• 特開平3-234067