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J-GLOBAL ID：200903018406722416

感活性エネルギー線樹脂組成物、及び、該樹脂組成物を用いてなる高分子パターンの形成方法

Inventor： 奥平 次男 ,  市村 國宏
Applicant, Patent owner： 有限会社日本ケミックス ,  市村 國宏
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2000282650
Publication number (International publication number)：2002062641
Application date： Aug. 15, 2000
Publication date： Feb. 28, 2002
Summary：

【要約】【課題】感光性材料の感度の大幅な向上と光硬化樹脂の架橋効率の大幅な向上などを図ることのできる、感活性エネルギー線樹脂組成物の提供と高分子パターンの形成方法。【解決方法】一般式(1)(式中、R1、R2は炭素数が1から15までのアルキル基、炭素数が1から8までの少なくとも3つがフッ素置換されたアルキル基、またはアリール基を示す)で表される4、4’-イソプロピリデンビスシクロヘキサンジスルホン酸エステルからなる増殖性強酸発生剤と、活性エネルギー線によって酸を発生する酸発生剤、及び、酸触媒反応性高分子からなる感活性エネルギー線樹脂組成物、酸触媒反応性高分子がカチオン重合性化合物からなる硬化性の感活性エネルギー線樹脂組成物、これらの感活性エネルギー線樹脂組成物を用いる高分子パターンの形成方法。

Claim (excerpt)：

下記一般式(1)(式中、R1、R2は炭素数が1から15までのアルキル基、炭素数が1から8までの少なくとも3つがフッ素置換されたアルキル基、またはアリール基を示す)で表される4、4’-イソプロピリデンビスシクロヘキサンジスルホン酸エステルからなる増殖性強酸発生剤と、活性エネルギー線によって酸を発生する酸発生剤、及び、酸触媒反応性高分子からなることを特徴とする感活性エネルギー線樹脂組成物。

IPC (5)：

G03F 7/004 503 ,  G03F 7/004 501 ,  C08K 5/42 ,  C08L101/02 ,  H01L 21/027

FI (5)：

G03F 7/004 503 A ,  G03F 7/004 501 ,  C08K 5/42 ,  C08L101/02 ,  H01L 21/30 502 R

F-Term (31)：

2H025AB16 ,  2H025AD01 ,  2H025AD03 ,  2H025BE00 ,  2H025BE07 ,  2H025BE10 ,  2H025BF00 ,  2H025BG00 ,  2H025CC20 ,  2H025FA17 ,  4J002AA001 ,  4J002BC121 ,  4J002BG011 ,  4J002BG051 ,  4J002BG071 ,  4J002BH021 ,  4J002CC031 ,  4J002CD051 ,  4J002CD061 ,  4J002CD071 ,  4J002CD121 ,  4J002CD141 ,  4J002CD161 ,  4J002EB007 ,  4J002EQ037 ,  4J002EV246 ,  4J002EV297 ,  4J002EW177 ,  4J002FD206 ,  4J002FD207 ,  4J002GP03