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J-GLOBAL ID：200903018408998338

静電チャック及びそれを用いたフラットパネル用基板の貼り合わせ装置

Inventor： 大谷 義和 ,  横田 道也 ,  西沢 龍 ,  内山 一栄 ,  石坂 一朗
Applicant, Patent owner： 信越エンジニアリング株式会社
Agent (1)： 細井 貞行 (外2名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2002128866
Publication number (International publication number)：2003324144
Application date： Apr. 30, 2002
Publication date： Nov. 14, 2003
Summary：

【要約】【課題】 構造を簡素化しながら吸引吸着力による基板の吸着保持から静電吸着力による基板の吸着保持へ確実に切り替えて貼り合わせる。【解決手段】 大気中で両基板A,B又はどちらか一方が吸引吸着手段3′により吸着保持され、減圧を進める過程で吸引吸着手段3′による吸引吸着力が消える前に静電チャック3により吸着保持し、所定の真空度に到達してから両基板A,Bが重ね合わせられる。

Claim (excerpt)：

静電吸着機能部(3a)の誘電体(3a1)の表面を、発ガス性及びガス透過性の低い誘電膜(3c)で被覆したことを特徴とする静電チャック。

IPC (2)：

H01L 21/68 ,  G02F 1/13 101

FI (2)：

H01L 21/68 R ,  G02F 1/13 101

F-Term (14)：

2H088FA01 ,  2H088FA02 ,  2H088FA03 ,  2H088FA04 ,  2H088FA16 ,  2H088FA17 ,  2H088FA30 ,  2H088MA20 ,  5F031CA02 ,  5F031CA05 ,  5F031HA10 ,  5F031HA16 ,  5F031MA28 ,  5F031MA32

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (3)

• 耐食性静電チャック
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願平7-014327   Applicant：アプライドマテリアルズインコーポレイテッド
• 基板の組立方法およびその装置
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願平11-089612   Applicant：日立テクノエンジニアリング株式会社
• 液晶表示素子の製造方法
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願平10-081576   Applicant：松下電器産業株式会社