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J-GLOBAL ID：200903018413462900

新規なポリマーを含有する放射線感光性組成物

Inventor： アンソニー・ザンピニ ,  ピーター・トレフォナス・サード ,  ロバート・エフ・ブラックスミス ,  ジェラルド・シー・ビズバリー ,  シェリ・エル・アブラザ
Applicant, Patent owner： シップレーカンパニー エル エル シー
Agent (1)： 佐伯 憲生
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1998190922
Publication number (International publication number)：1999349760
Application date： Jun. 01, 1998
Publication date： Dec. 21, 1999
Summary：

【要約】 (修正有)【解決手段】 ポリマーの新規な混合物を含有するフォトレジスト組成物。この混合物は、ボリマーの少なくとも一方が、酸環境に対して不活性である基によって置換されている、ノボラック樹脂及びポリビニルフェノール樹脂からなる。【効果】フォトレジスト配合物中に使用されるとき、このフォトレジストは、アイーライン照射に露光されたとき改良された現像能力を示す。

Claim (excerpt)：

ポリビニルフェノール樹脂及びノボラック樹脂からなるポリマーの混合物であって、当該ポリマーの少なくともひとつが、酸性下で不活性基で置換されたペンダントヒドロキシ基を有し、当該混合物のポリビニルフェノール樹脂のノボラック樹脂に対する重量比が1対10から10対1であるポリマー組成物。

IPC (4)：

C08L 25/18 ,  C08L 61/06 ,  G03F 7/038 ,  G03F 7/039

FI (4)：

C08L 25/18 ,  C08L 61/06 ,  G03F 7/038 ,  G03F 7/039