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J-GLOBAL ID:200903018415122065

微小組み立てされた粒子フィルタ

Inventor:
Applicant, Patent owner:
Agent (1): 中村 稔 (外7名)
Gazette classification:公表公報
Application number (International application number):1995523562
Publication number (International publication number):1997511439
Application date: Mar. 07, 1995
Publication date: Nov. 18, 1997
Summary:
【要約】薄膜フィルタの部分(20)は、架橋部(26)により互いに接続された、複数のポートスリット(28)の壁を形成する複数の部材(22)及び(24)よりなっている。スリット(28)の幅(W)はスリット(28)を通り抜けられる最大の球状の微粒子の直径に対応し、一方スリット(28)の長さ(L)はスリット(28)を通り抜ける最短の通路である。スリットの幅(W)の寸法は精密に制御でき、約50オングストロームの小ささである。フィルタの部分(20)は高温及び苛酷な溶剤に耐えられる。
Claim (excerpt):
それを通る開口を有する第1薄膜構造、及び 予め定められた幅の細孔を生成するようにこの第1薄膜構造に対してその開口を部分的にふさぐように位置された第2薄膜構造よりなるフィルタ。
IPC (3):
B01D 69/12 ,  B01D 67/00 ,  B01D 71/70
FI (3):
B01D 69/12 ,  B01D 67/00 ,  B01D 71/70

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