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J-GLOBAL ID：200903018457786923

多層膜反射鏡

Inventor： 戸井田 憲 ,  野沢 和人 ,  大本 稔
Applicant, Patent owner： 株式会社シバソン
Agent (1)： 大塚 忠
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2004077619
Publication number (International publication number)：2005266211
Application date： Mar. 18, 2004
Publication date： Sep. 29, 2005
Summary：

【課題】 少数の反射膜の積層により、高い可視光反射率、反射光照度が得られる多層膜反射鏡を提供する。【解決手段】 高屈折率薄膜層と低屈折率薄膜層とを交互に積層して形成された多層反射膜のうちの複数の高屈折率薄膜層を屈折率の高い金属Si層として多層膜反射鏡を構成する。例えば、多層反射膜の第1層から第8層のうちの複数の高屈折率薄膜層を金属Si層とし、低屈折率薄膜層をSiO2層とすれば、その屈折率の大差により高い反射率が得られる。しかし、Si層は、可視光の吸収率が高い。そこで、これよりも上層に、例えば、高屈折率薄膜層としてのTiO2層と低屈折率薄膜層としてのSiO2層を交互に適切に積層すれば、Si層による可視光の吸収を無視できるほど低減し、全体として少ない積層数で高い可視光反射率、反射光照度を得ることができる。【選択図】 図1

Claim (excerpt)：

反射基材面に高屈折率薄膜層と低屈折率薄膜層とを交互に積層して多層反射膜を設けた反射鏡であって、複数の前記高屈折率薄膜層が金属Si層であることを特徴とする多層膜反射鏡。

IPC (3)：

G02B5/26 ,  G02B5/08 ,  G02B5/28

FI (3)：

G02B5/26 ,  G02B5/08 A ,  G02B5/28

F-Term (14)：

2H042DA01 ,  2H042DA08 ,  2H042DA12 ,  2H042DB03 ,  2H042DC02 ,  2H042DE04 ,  2H048FA05 ,  2H048FA15 ,  2H048FA24 ,  2H048GA04 ,  2H048GA14 ,  2H048GA18 ,  2H048GA43 ,  2H048GA61

Patent cited by the Patent：

Cited by applicant (1)

• コールドミラー
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願平7-116604   Applicant：株式会社小糸製作所