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J-GLOBAL ID:200903018467743505
赤外放射温度計とその製造方法
Inventor:
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Applicant, Patent owner:
Agent (1):
東野 博文
Gazette classification:公開公報
Application number (International application number):1998005533
Publication number (International publication number):1999201820
Application date: Jan. 14, 1998
Publication date: Jul. 30, 1999
Summary:
【要約】【課題】赤外線の吸収特性がよく感度の高い赤外放射温度計を実現する。【解決手段】 高濃度に不純物がドーピングされたポリシリコン膜と、このポリシリコン膜上にこのポリシリコン膜とは異なる屈折率を有する多層膜を形成した。
Claim (excerpt):
高濃度に不純物がドーピングされたポリシリコン膜と、このポリシリコン膜を挟んでこのポリシリコン膜とは異なる屈折率を有する少なくとも一層の膜を形成したことを特徴とする赤外放射温度計。
IPC (2):
FI (2):
G01J 5/02 C
, G01J 1/02 C
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