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J-GLOBAL ID：200903018523339607

多電極デバイス検査装置

Inventor： 小黒 謙治 ,  坪井 秀行
Applicant, Patent owner： 三井造船株式会社
Agent (1)： 村上 友一 (外1名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1993171065
Publication number (International publication number)：1995077560
Application date： Jun. 17, 1993
Publication date： Mar. 20, 1995
Summary：

【要約】【目的】 一括接触型検査装置の導通針が検査基板のうねりなどによって影響されないようにし、またデバイスの変更にも簡単に対処できる構造とする。【構成】 多電極を有する液晶パネルやIC、LSI等のデバイスの検査領域を囲むステージを有し、このステージには前記デバイスの各電極に対して接触可能な導通針を有するプローブカード等の検査手段を取り付けるようにした検査装置である。ステージには間隔調整可能なレール機構を設け、このレール機構の各レールに前記検査手段を支持する取付ヘッドを位置調整可能に複数設けている。各ヘッドには各々昇降手段を介して検査手段を昇降可能に取り付けるとともに、前記導通針の着床を検知し前記昇降手段を停止させるセンサを設けた。

Claim (excerpt)：

多電極を有する液晶パネルやIC、LSI等のデバイスの検査領域を囲むステージを有し、このステージには前記デバイスの各電極に対して接触可能な導通針を有するプローブカード等の検査手段を取り付けるようにした検査装置であって、前記ステージには間隔調整可能なレール機構を設け、このレール機構の各レールに前記検査手段を支持する取付ヘッドを位置調整可能に複数設けてなり、各ヘッドには各々昇降手段を介して検査手段を昇降可能に取り付けるとともに、前記導通針の着床を検知し前記昇降手段を停止させるセンサを設けたことを特徴とする多電極デバイス検査装置。

IPC (3)：

G01R 31/28 ,  G01R 1/073 ,  G01R 31/00