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J-GLOBAL ID：200903018545329800

導電性金属酸化物焼結体及びその用途

Inventor： 小川 展弘 ,  毛利 隆
Applicant, Patent owner： 東ソー株式会社
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1998100869
Publication number (International publication number)：1998269843
Application date： Jun. 13, 1989
Publication date： Oct. 09, 1998
Summary：

【要約】【課題】 導電性において極めて優れた性能を持つ透明導電性膜及びそのような透明導電性膜を形成することが可能なスパッタリングターゲット及び該スパッタリングターゲットの形成に用いられる金属酸化物焼結体を提供する。【解決手段】 少なくともハフニウムをドーパントの一部として含有する酸化インジウムからなる金属酸化物焼結体を用いたスパッタリングターゲットを用いて透明導電性膜を形成する。

Claim (excerpt)：

ハフニウム成分を酸化物換算で0.1wt%以上5wt%以下含む酸化インジウムを主成分とする導電性金属酸化物焼結体。

IPC (5)：

H01B 1/08 ,  C04B 35/495 ,  C23C 14/08 ,  C23C 14/34 ,  H01B 5/14

FI (5)：

H01B 1/08 ,  C23C 14/08 D ,  C23C 14/34 A ,  H01B 5/14 A ,  C04B 35/00 J