ポジ型レジスト組成物

Inventor： ,
Applicant, Patent owner：
Agent (1)：小栗昌平 (外4名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2000332802
Publication number (International publication number)：2002139838
Application date： Oct. 31, 2000
Publication date： May. 17, 2002
Summary：

【要約】 (修正有)【課題】超微細加工が可能な短波長の露光光源及びポジ型化学増幅レジストを用いたリソグラフィー技術にあって、解像力が向上し、露光マージンや焦点深度等のプロセス許容性が改善され、現像欠陥の発生も少ないポジ型レジスト組成物を提供することにある。【解決手段】活性光線の照射により、少なくとも1つのフッ素原子によって置換されたアルカン部分を有するスルホン酸を発生する化合物、及び酸の作用により分解し、アルカリ現像液中での溶解度を増大させる基を有する樹脂として、下記一般式(A)で表される繰り返し単位を含有する酸分解性樹脂を含有することを特徴とするポジ型レジスト組成物

Claim (excerpt)：

(a)活性光線の照射により、少なくとも1つのフッ素原子によって置換されたアルカン部分を有するスルホン酸を発生する化合物、及び、(b)酸の作用により分解し、アルカリ現像液中での溶解度を増大させる基を有する樹脂として、下記一般式(A)で表される繰り返し単位を含有する樹脂を含有することを特徴とするポジ型レジスト組成物。【化1】上記一般式(A)において、R1は、水素原子、アルキル基、又はハロゲン原子を表す。R2及びR3は、各々独立に、水素原子又はアルキル基を表す。Rは、置換基を有していてもよい炭素数5以上の脂環式環状炭化水素基、置換基を有していてもよい炭素数6以上の芳香族基、置換基を有していてもよい炭素数4以上のヘテロ芳香族環、または、-(CH2)n-X-R’で表される基である。nは1〜3の整数を表す。Xは単結合又は2価の連結基であり、R’は置換基を有していてもよい炭素数5以上の脂環式環状炭化水素基、置換基を有していてもよい炭素数6以上の芳香族基、置換基を有していてもよい炭素数4以上のヘテロ芳香族環を表す。R、R2及びR3のうちの2つ以上が結合して環を形成していてもよい。

IPC (7)：

G03F 7/039 601 , C08F 12/24 , C08K 5/42 , C08L 25/18 , C08L 83/04 , G03F 7/004 503 , H01L 21/027

FI (7)：

G03F 7/039 601 , C08F 12/24 , C08K 5/42 , C08L 25/18 , C08L 83/04 , G03F 7/004 503 A , H01L 21/30 502 R

F-Term (95)：

2H025AA02 , 2H025AA04 , 2H025AB16 , 2H025AC04 , 2H025AC08 , 2H025AD03 , 2H025BE07 , 2H025BE10 , 2H025BG00 , 2H025CB17 , 2H025CB41 , 2H025CC04 , 2H025CC20 , 2H025FA17 , 4J002BC121 , 4J002CP032 , 4J002EH017 , 4J002EH087 , 4J002EJ017 , 4J002EJ027 , 4J002EJ037 , 4J002EJ047 , 4J002EJ067 , 4J002EL087 , 4J002EN028 , 4J002EN068 , 4J002EN108 , 4J002EN138 , 4J002ER028 , 4J002EU028 , 4J002EU048 , 4J002EU078 , 4J002EU088 , 4J002EU108 , 4J002EU118 , 4J002EU128 , 4J002EU138 , 4J002EU148 , 4J002EU238 , 4J002EV009 , 4J002EV039 , 4J002EV067 , 4J002EV077 , 4J002EV128 , 4J002EV207 , 4J002EV217 , 4J002EV219 , 4J002EV239 , 4J002EV256 , 4J002EV259 , 4J002EV269 , 4J002EV296 , 4J002EV298 , 4J002FD206 , 4J002FD207 , 4J002FD209 , 4J002FD312 , 4J002FD319 , 4J002GH00 , 4J002GP03 , 4J002HA05 , 4J100AB04R , 4J100AB07P , 4J100AB07Q , 4J100AB07R , 4J100BA02P , 4J100BA03P , 4J100BA03Q , 4J100BA05P , 4J100BA15P , 4J100BA15R , 4J100BA16P , 4J100BA20P , 4J100BA40P , 4J100BA41P , 4J100BA51P , 4J100BA53P , 4J100BB01P , 4J100BB05P , 4J100BB07P , 4J100BC02P , 4J100BC03P , 4J100BC04P , 4J100BC04R , 4J100BC08P , 4J100BC09P , 4J100BC43P , 4J100BC49P , 4J100BC68P , 4J100BC83P , 4J100CA01 , 4J100CA04 , 4J100CA05 , 4J100DA01 , 4J100JA38

Return to Previous Page