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J-GLOBAL ID:200903018574407321
ガス成分濃度計測方法
Inventor:
,
,
,
Applicant, Patent owner:
Agent (1):
波多野 久 (外1名)
Gazette classification:公開公報
Application number (International application number):1998316604
Publication number (International publication number):2000146840
Application date: Nov. 06, 1998
Publication date: May. 26, 2000
Summary:
【要約】【課題】多成分が混在する試料ガス中に微量濃度含まれている物質の濃度を正確に測定するガス成分濃度計測方法を提供する。【解決手段】被測定分子を含む104 Paから大気圧以上に加圧された試料ガス2を1ミリPa以下に減圧された真空チャンバ1内に噴射し、分子ビームジェット5を形成することにより試料分子の回転振動温度を数10K程度以下に冷却し、被測定分子の吸収波長の中で共存する分子の吸収波長と充分に分離可能な波長を持つ励起光6aを分子ビームジェット5中の測定場に対して照射し、この励起光の照射により測定場に誘起された蛍光強度を計測することにより、測定場に存在する被測定分子の濃度を判定する。
Claim (excerpt):
被測定分子を含む104 Paから大気圧以上に加圧された試料ガスを1ミリPa以下に減圧された真空チャンバ内に噴射し、分子ビームジェットを形成することにより試料分子の回転振動温度を数10K程度以下に冷却し、上記被測定分子の吸収波長の中で共存する分子の吸収波長と充分に分離可能な波長を持つ励起光を上記分子ビームジェット中の測定場に対して照射し、この励起光の照射により上記測定場に誘起された蛍光強度を計測することにより、上記測定場に存在する上記被測定分子の濃度を判定することを特徴とするガス成分濃度計測方法。
IPC (3):
G01N 21/64
, G01N 1/02
, G01N 1/28
FI (3):
G01N 21/64 Z
, G01N 1/02 A
, G01N 1/28 K
F-Term (22):
2G043AA01
, 2G043BA14
, 2G043CA01
, 2G043DA01
, 2G043DA05
, 2G043DA08
, 2G043EA01
, 2G043FA06
, 2G043GA02
, 2G043GA07
, 2G043GB03
, 2G043GB07
, 2G043GB28
, 2G043HA01
, 2G043HA02
, 2G043KA05
, 2G043KA09
, 2G043LA01
, 2G043MA01
, 2G043NA01
, 2G043NA11
, 2G043NA13
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