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J-GLOBAL ID：200903018574490440
ダイボンダ
Inventor：
Applicant, Patent owner：
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1997314891
Publication number (International publication number)：1999150132
Application date： Nov. 17, 1997
Publication date： Jun. 02, 1999
Summary：
【要約】【課題】ウェーハステージ1をX,Yに移動しないものとしてダイボンダ小型化しながらペレットをピックアップ、移送する機構を簡単にして、高速動作を可能とする。【解決手段】回転自在なウェーハステージ1と、その回転中心とボンディングポジション結ぶ線上を移送線として自在に移動してウェーハステージ1上のペレットPをピックアップしてボンディングポジションに移送する吸着ノズル17とを備えて、ウェーハステージ1が回転してピックアップするペレットPを移送線に位置合わせし、吸着ノズル17がそのペレットの位置に移動してピックアップを行なってボンディングポジションに移送する。
Claim (excerpt)：
回転自在なウェーハステージと、その回転中心と特定の載置場所とを結ぶ線上を移送線として自在に移動してウェーハステージ上のペレットをピックアップして前記載置場所に移送する真空吸着ノズルとを備え、前記ウェーハステージが回転してピックアップするペレットを前記移送線に位置合わせし、前記真空吸着ノズルがそのペレットの位置に移動してピックアップを行なって前記載置場所に移送することを特徴とするダイボンダ。
FI (2)：
H01L 21/50 C
, H01L 21/50 F
