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J-GLOBAL ID：200903018590380999

応力センサ

Inventor： 唐澤 文明
Applicant, Patent owner： ケイテックデバイシーズ株式会社
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2001033548
Publication number (International publication number)：2004212047
Application date： Feb. 09, 2001
Publication date： Jul. 29, 2004
Summary：

【課題】ポストへの応力付与に対して感度を大きくできる応力センサを提供する。【解決手段】抵抗素子からなる歪みゲージが、基板面のセンサ有効領域の中心を交点とする基板面に沿った直交する二直線上、且つ当該交点から実質的に等距離位置に4箇所配され、前記基板面のセンサ有効領域の中心と、ポスト底面の中心とが実質的に一致するよう、ポストが固着又は一体化され、当該ポストへの応力付与に起因する前記抵抗素子の伸張、収縮又は圧縮による抵抗値変化から前記応力の方向と大きさとを把握し得る応力センサにおいて、前記ポスト底部が突起部を有し、ポストへの応力付与により、当該ポスト底部の突起部が前記歪ゲージを刺激する。【選択図】 図1

Claim (excerpt)：

歪みゲージが基板面に配され、当該基板の一方の面にポストが固着又は一体化され、当該ポストへの応力付与に起因する前記歪ゲージの特性値変化により前記応力の方向と大きさとを把握し得る応力センサにおいて、 前記ポスト底部が突起部を有し、ポストへの応力付与により、当該ポスト底部の突起部が前記歪ゲージを刺激することを特徴とする応力センサ。

IPC (3)：

G01L5/16 ,  G01L1/22 ,  H01C17/24

FI (3)：

G01L5/16 ,  G01L1/22 M ,  H01C17/24 C

F-Term (11)：

2F049BA04 ,  2F049CA07 ,  2F049DA04 ,  2F051AA21 ,  2F051AB08 ,  2F051AB09 ,  2F051DA03 ,  5E032BB01 ,  5E032BB20 ,  5E032DA01 ,  5E032TA11