Pat

J-GLOBAL ID：200903018594640022

弾性表面波素子

Inventor： 岩本 修 ,  両角 浩一 ,  三井 雄治
Applicant, Patent owner： セイコーエプソン株式会社
Agent (1)： 上柳 雅誉 (外1名)
Gazette classification：再公表公報
Application number (International application number)：JP1999005624
Publication number (International publication number)：WO2000024123
Application date： Oct. 12, 1999
Publication date： Apr. 27, 2000
Summary：

【要約】弾性表面波素子1は、水晶で構成された基板2と、アルミニウムの層で構成された一対の櫛歯型の電極3と、電極パッド4と、電極3と同一の材料で構成された一対の格子状の反射器5とを有する。電極3を構成するアルミニウムの層は、その結晶構造が双晶構造をなしており、アルミニウムの(-11-1)面と(1-11)面とを双晶の結晶粒界として、(-111)面と(002)面との結晶粒と、(1-1-1)面と(00-2)面との結晶粒とが双晶の関係にある。また、アルミニウムの層の{111}面は、基板2を構成する水晶の{010}面に対し、8°傾斜して配向している。

Claim (excerpt)：

圧電体で構成された基板と、該基板上に設けられた電極とを有し、前記電極への導通により発振する弾性表面波素子であって、 前記電極は、結晶粒界が双晶粒界である多結晶のアルミニウムの層で構成されていることを特徴とする弾性表面波素子。

IPC (2)：

H03H 9/145 ,  H03H 9/25

FI (2)：

H03H 9/145 C ,  H03H 9/25 C