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J-GLOBAL ID：200903018599011090

共焦点レーザー顕微鏡

Inventor： 小池 博 ,  鈴木 尚二
Applicant, Patent owner： 小池精機株式会社
Agent (1)： 田中 雅雄
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1992316023
Publication number (International publication number)：1994148525
Application date： Oct. 30, 1992
Publication date： May. 27, 1994
Summary：

【要約】【目的】 ガロバノミラーを走査手段とした共焦点レーザー顕微鏡において、X方向の歪を完全に除き、画面上の各位置関係が資料面と同じ率になるようにする。【構成】 光源1からのレーザー光を2つのガロバノミラー4,5からなる走査手段をもってX,Y方向を走査させ、リレーレンズ6,対物レンズ8を通して資料面9を照射させ、その反射光を資料情報検出センサー12で受ける。光源1から対物レンズ8に到る光学系における視野絞り7と同等位置にX走査方向にスリットを並べてストライプマスク16により受光面を覆ったタイミング検出用受光素子14を置き、その検出信号に同期させて資料情報検出センサー12の情報を読み取らせる。

Claim (excerpt)：

レーザー光を放射する光源と、該光源からの光を横方向及び縦方向に走査させるガロバノミラーからなる走査手段と、この走査光を対物レンズの結像位置である視野絞り内を走査し、更に対物レンズを経由して資料面を縮小走査するようにしたリレーレンズと、資料からの光を受けて明暗情報を電気信号に変換させる資料情報検出センサーとを備えてなる共焦点レーザー顕微鏡において、前記光源から対物レンズに到る光学系における前記視野絞りと同等位置に、横走査方向にスリットを並べたストライプマスクにより受光面を覆った資料情報読取りタイミング検出用の受光素子を置き、該受光素子の検出信号に同期させて前記資料情報検出センサーの情報を読み取らせるようにしたことを特徴としてなる共焦点レーザー顕微鏡。

IPC (2)：

G02B 21/00 ,  H04N 1/04 104

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (3)

• 特開昭64-037521
  
• 特開昭53-079558
  
• 特開平3-198008