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J-GLOBAL ID：200903018633510123
プローブ装置
Inventor：
Applicant, Patent owner：
Agent (1)：
中本 菊彦
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1991216650
Publication number (International publication number)：1993041424
Application date： Aug. 03, 1991
Publication date： Feb. 19, 1993
Summary：
【要約】【目的】装置の小型化を図り、かつ、テストヘッドからの発熱による影響を除去すると共に被検査体へのごみの付着を低減する。【構成】チャック5はウエハ2をその電極パッドを下方に向けた状態で保持する。チャック5の下に、触針6を上方に向けた状態でプローブカード7を設置する。プローブカード7の下にはテストヘッド11を置く。供給ノズル15から冷却されたエアAを供給する。エアAはウエハ2、プローブカード7、更にはテストヘッド11内をダウンフローとなって流下する。
Claim (excerpt)：
被検査体の電極パッドにプローブカードの触針を接触させ、プローブカードにテストヘッドを介して接続されたテスタにより被検査体の電気的特性を測定するプローブ装置において、上記テストヘッドの上方に上記プローブカードの触針を上向きにして設け、上記プローブカードの上方に上記被検査体をその電極パッドが下向きとなるように保持手段で保持すると共に、上記被検査体、プローブカード及びテストヘッドを流下する冷却用ガスのダウンフローを形成したことを特徴とするプローブ装置。
IPC (2)：
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