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J-GLOBAL ID：200903018634156978
加速度センサ
Inventor：
Applicant, Patent owner：
Agent (1)：
広瀬 和彦
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1992263013
Publication number (International publication number)：1994088837
Application date： Sep. 04, 1992
Publication date： Mar. 29, 1994
Summary：
【要約】【目的】 可動電極と固定電極との間を確実に電気的に絶縁し、全体構造を簡素化しつつ、ノイズの影響を低減して加速度の検出精度,検出感度を向上する。【構成】 抵抗率が小さいシリコン材料からなる第1の基板としての上側基板1の下面側に絶縁性材料からなる第2の基板としての下側基板2を設け、支持梁4の全周に亘って上側基板1を上面側から下面側まで貫通する絶縁溝5を穿設することにより、支持梁4と該支持梁4に対向する各固定部6とを一体的に形成する構成とした。これにより、支持梁4と各固定部6とは絶縁溝5により電気的に絶縁され、質量部4Cは可動電極を構成し、各突出部6Aは固定電極をそれぞれ構成する。
Claim (excerpt)：
低抵抗のシリコン材料から形成された第1の基板と、該第1の基板の下面側に設けられ、該第1の基板と電気的に絶縁された第2の基板とを備え、前記第1の基板は、加速度に応じて水平方向に変位する質量部を有する支持梁と、該支持梁の全周に亘って前記第1の基板を貫通して設けられた絶縁溝と、該絶縁溝を挟んで前記支持梁の両側に設けられ、前記第2の基板に固定された固定部とから構成してなる加速度センサ。
IPC (3)：
G01P 15/125
, H01L 21/308
, H01L 29/84
