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J-GLOBAL ID：200903018669281481

基板回転装置

Inventor： 松尾 学
Applicant, Patent owner： キヤノン株式会社 ,  キヤノン販売株式会社
Agent (1)： 伊東 哲也 (外1名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1995066685
Publication number (International publication number)：1996241851
Application date： Mar. 02, 1995
Publication date： Sep. 17, 1996
Summary：

【要約】【目的】 基板回転装置に用いて、部品点数が少なく、信頼性が高く、かつ設計の自由度の大きな基板受渡機構を提供する。【構成】 水平に配置された回転板3と、該回転板上に配設されてその上に載置される基板1を垂直方向に支持するとともに該基板の外周を位置規制する外周保持部1と、該回転板を回転させる駆動手段6とを具備する基板回転装置において、回転板3に複数個の開口4を設け、かつ該回転板を所定の定位置で停止させる手段7,8と、該回転板が前記定位置で停止したとき前記開口を通って昇降する複数個のピン5を有し、該ピンの先端と前記外周保持部との間で基板の受け渡しを行なう基板昇降手段9,10を設ける。

Claim (excerpt)：

水平に配置された回転板と、該回転板上に配設されてその上に載置される基板を垂直方向に支持するとともに該基板の外周を位置規制する外周保持部と、該回転板を回転させる駆動手段とを具備する基板回転装置において、前記回転板に複数個の開口を設けるとともに、該回転板を所定の定位置で停止させる手段と、該回転板が前記定位置で停止したとき前記開口を通って昇降する複数個のピンを有し、該ピンの先端と前記外周保持部との間で基板の受け渡しを行なう基板昇降手段を設けたことを特徴とする基板回転装置。

IPC (4)：

H01L 21/027 ,  H01L 21/304 351 ,  H01L 21/304 361 ,  H01L 21/68

FI (5)：

H01L 21/30 564 C ,  H01L 21/304 351 S ,  H01L 21/304 361 S ,  H01L 21/68 N ,  H01L 21/30 569 C