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J-GLOBAL ID：200903018674324032
光学反射素子
Inventor：
Applicant, Patent owner：
Agent (1)：
野▲崎▼ 照夫
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1992151307
Publication number (International publication number)：1993323109
Application date： May. 19, 1992
Publication date： Dec. 07, 1993
Summary：
【要約】【目的】 薄型化に対応でき、かつ生産コストが低減される光学反射素子を得る。【構成】 表面が熱処理されて酸化層13が形成されたシリコン基板12と、酸化層13の表面に蒸着されるなどして形成された高反射率の金属皮膜14と、前記金属皮膜14上に形成された酸化防止皮膜15とから光学反射素子11が形成されている。シリコン基板12を使用することにより、厚さを薄くしても剛性が保たれる。また、シリコン基板12の表面に酸化層13を形成することにより、金属皮膜14が蒸着などにより密着されやすくなる。
Claim (excerpt)：
シリコン基板と、この基板表面を熱処理して形成した酸化層と、この酸化層上に成膜された光反射層とから成ることを特徴とする光学反射素子。
IPC (2)：
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