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J-GLOBAL ID：200903018674713519

ポジ型感放射線性樹脂組成物

Inventor： 平岡 良一 ,  梶田 徹 ,  大田 利幸 ,  辻 昭
Applicant, Patent owner： 日本合成ゴム株式会社
Agent (1)： 福沢 俊明
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1993243561
Publication number (International publication number)：1995072622
Application date： Sep. 06, 1993
Publication date： Mar. 17, 1995
Summary：

【要約】【目的】 各種の放射線に有効に感応し、特にフォーカス許容性が優れるとともに、感度、解像度、現像性、パターン形状、耐熱性等にも優れたレジストとして有用なポジ型感放射線性樹脂組成物を提供する。【構成】 ポジ型感放射線樹脂組成物は、(イ)アルカリ可溶性ノボラック樹脂、並びに(ロ)下記式(1)で代表される繰り返し単位および/または式(2)で代表される繰り返し単位を少なくとも2つ有する重縮合体のキノンジアジドスルホン酸エステルを含有する。【化1】【化2】〔式(1)のmは1〜3の整数、式(2)のpは1〜6の整数である。〕

Claim (excerpt)：

(イ)アルカリ可溶性ノボラック樹脂、並びに(ロ)下記式(1)で表される繰り返し単位および/または式(2)で表される繰り返し単位を少なくとも2つ有する重縮合体のキノンジアジドスルホン酸エステルを含有することを特徴とするポジ型感放射線樹脂組成物。【化1】【化2】〔式(1)および式(2)において、R1〜R4は相互に同一でも異なってもよく、水素原子、炭素数1〜10のアルキル基または炭素数6〜15のアリール基を示し、R5〜R12 は相互に同一であっても異なってもよく、水素原子、ハロゲン原子、炭素数1〜6のアルキル基または炭素数6〜15のアリール基を示し、R13 は炭素数1〜10のアルキル基、炭素数3〜10のシクロアルキル基、炭素数1〜8のアルコキシ基、炭素数7〜15のアラルキルオキシ基、炭素数1〜7のアシル基、炭素数6〜15のアリール基、炭素数7〜15のアラルキル基、炭素数6〜10のアリールオキシ基または炭素数2〜10のアルコキシカルボニル基を示し、R13 が複数存在する場合は相互に同一でも異なってもよく、m、n、pおよびqは、1≦m≦3、0≦n≦3、m+n≦4、1≦p≦6、0≦q≦5、p+q≦6を満足する整数である。〕

IPC (2)：

G03F 7/022 ,  H01L 21/027