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J-GLOBAL ID：200903018740504560

荷電粒子ビーム装置における焦点合わせおよび非点補正方法

Inventor： 新川 隆朗
Applicant, Patent owner： 日本電子株式会社
Agent (1)： 井島 藤治 (外1名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1992088919
Publication number (International publication number)：1993290780
Application date： Apr. 09, 1992
Publication date： Nov. 05, 1993
Summary：

【要約】【目的】 煩わしい動作なく自動的に焦点合わせや非点補正を行うことができる荷電粒子ビームにおける焦点合わせおよび非点補正方法を実現する。【構成】 焦点合わせ動作により、対物レンズ3には最適な焦点合わせのための励磁電流が駆動電源16より供給される。また、焦点位置のときの像信号の積算値が制御回路14からメモリ20に供給されて記憶される。次に、所定時間経過後、焦点ずれ検出動作が実行される。この動作はまず、1画面分の像信号を積算器15によって積算し、その積算結果をピーク検出回路15を介して制御回路14に送る。制御回路14は、供給された積算値とメモリ20に記憶された積算値とを比較し、焦点ずれの有無を検出する。この両積算値の差が、所定レベル以上となった場合、焦点ずれが生じたとして再び自動的に焦点合わせ動作を実行させる。

Claim (excerpt)：

荷電粒子ビームを試料上に集束するための集束レンズと、試料上の荷電粒子ビームの照射位置を走査するための走査手段と、試料への荷電粒子ビームの照射によって得られた信号を検出する検出器と、試料上の荷電粒子ビームの集束状態をステップ状に変化させる手段とを備えた荷電粒子ビーム装置において、各集束状態のときに試料の所定領域を荷電粒子ビームで走査し、その際、検出器によって検出された信号を処理して合焦点の程度を表わす評価信号を求め、この評価信号値により最適焦点位置を求め、最適焦点位置に集束レンズを設定する焦点合わせ動作を行うと共に、その最適焦点位置における評価信号値を記憶し、その後、適宜試料の所定領域の荷電粒子ビーム走査に基づく検出信号を処理して評価信号値を求め、その評価信号値と記憶した最適焦点位置における評価信号値とを比較し、その差が所定レベル以上となった場合に再度焦点合わせ動作を行うようにした荷電粒子ビーム装置における焦点合わせ方法。

IPC (2)：

H01J 37/21 ,  H01J 37/153