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J-GLOBAL ID：200903018766035932

圧電体素子、インクジェット式記録ヘッド及びそれらの製造方法

Inventor： 邱 宏 ,  村井 正己 ,  角 浩二 ,  西脇 学
Applicant, Patent owner： セイコーエプソン株式会社
Agent (1)： 稲葉 良幸 (外2名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1999291669
Publication number (International publication number)：2001105594
Application date： Oct. 13, 1999
Publication date： Apr. 17, 2001
Summary：

【要約】【課題】 新たな構造と配向性を有する圧電体膜を備えた圧電体素子及びその製造方法の提供。【解決手段】 圧電体膜と、この圧電体膜を挟んで配置される下部電極および上部電極とを備えた圧電体素子であって、前記圧電体膜を構成する結晶が、前記下部電極から前記上部電極に対する方向、いわゆる膜厚方向に[111]の配向を有し、かつ、非柱状の結晶粒子を有する。この圧電体素子は、白金下電極上に、厚さ5nmのチタンの種層を形成し、その上に圧電体の前駆体膜を形成し、アルカリ溶液中で一定温度及び一定圧力下で結晶化させることによって得られる。

Claim (excerpt)：

圧電体膜と、この圧電体膜を挟んで配置される下部電極および上部電極とを備えた圧電体素子であって、前記圧電体膜を構成する結晶が、圧電体膜の膜厚方向に[111]の配向を有し、かつ、非柱状の構造を有する、圧電体素子。

IPC (6)：

B41J 2/045 ,  B41J 2/055 ,  B41J 2/16 ,  H01L 41/09 ,  H01L 41/187 ,  H01L 41/22

FI (5)：

B41J 3/04 103 A ,  B41J 3/04 103 H ,  H01L 41/08 C ,  H01L 41/18 101 D ,  H01L 41/22 Z

F-Term (12)：

2C057AF65 ,  2C057AF93 ,  2C057AG12 ,  2C057AG44 ,  2C057AG92 ,  2C057AG93 ,  2C057AP02 ,  2C057AP14 ,  2C057AP32 ,  2C057AP34 ,  2C057BA04 ,  2C057BA14