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J-GLOBAL ID：200903018780919169

放射感応性混合物

Inventor： クラウス-イェルゲン、プルツィビラ ,  ゲオルク、パウロウスキ ,  ホルスト、レスヒェルト
Applicant, Patent owner： ヘキスト・アクチェンゲゼルシャフト
Agent (1)： 佐藤 一雄 (外2名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1992159777
Publication number (International publication number)：1994214387
Application date： Jun. 18, 1992
Publication date： Aug. 05, 1994
Summary：

【要約】 (修正有)結合剤として、α、β-不飽和カルボン酸のアミドからなる単位を含む新規な重合体を含む放射感応性混合物本発明は、酸により開裂し得る側基を有する重合体結合剤および照射により強酸を形成する化合物を含む放射感応性混合物に、および結合剤として使用する重合体の合成原料となる、α、β-不飽和カルボン酸の新規なアミドに関する。さらに、本発明は、基材、およびその上に位置する、本発明に係わる放射感応性混合物を含むポジ型またはネガ型層からなる、ポジ型またはネガ型放射感応性記録材料に関する。

Claim (excerpt)：

下記式(II)で表わされる化合物であって、【化1】式中、R1 は酸により開裂し得る基であり、R2 は(C1 〜C4 )アルキル、ハロゲン(C1 〜C4 )アルキルまたは水素であり、R3,4,5,6 は、互いに独立して、所望によりハロゲン置換した、1〜20個の炭素原子を有する脂肪族、芳香脂肪族(araliphatic) または芳香族基、ハロゲン原子または水素であり、R7 は(C1 〜C4 )アルキルまたは水素である。

IPC (9)：

G03F 7/027 514 ,  G03F 7/00 501 ,  G03F 7/004 503 ,  G03F 7/028 ,  G03F 7/033 ,  G03F 7/037 501 ,  G03F 7/038 504 ,  G03F 7/039 501 ,  H01L 21/027

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (10)

• 特開平2-231482
  
• 特開平2-231482
  
• 特開昭64-032255
  
• 特開昭64-032255
  
• 特開昭62-038454
  
• 特開昭62-038454
  
• 特開昭58-074666
  
• 特開平3-031291
  
• 特開平1-225943
  
• 特開昭63-017446