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J-GLOBAL ID：200903018812574355

セラミックコーティング用の前駆体及びその製造方法

Inventor： ローレン アンドリュー ハルスカ
Applicant, Patent owner： ダウ・コ-ニング・コ-ポレ-ション
Agent (1)： 石田 敬 (外3名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1994102391
Publication number (International publication number)：1995097448
Application date： May. 17, 1994
Publication date： Apr. 11, 1995
Summary：

【要約】【目的】 電子回路等に平滑なアモルファスシリカをコーティングし、保護絶縁層を形成するに好適なセラミック前駆体を製造する方法を提供する。【構成】 共加水分解性のシランより可溶性の共加水分解物を製造する方法であって、HSi(OR)3 とSi(OR)4 の式で表されるシランの混合物であり、HSi(OR)3 対Si(OR)4 のモル比が3:1未満であり、各々のRは酸素原子によって珪素と結合したときに加水分解性の置換基を形成する独立した有機基であるシラン混合物と、さらに酸素含有極性有機溶媒、水、及び酸を含む混合物を形成し、次いで共加水分解物が生成するに充分な時間まで該混合物中のシランの加水分解を促進する。好ましくは、水は化学量論量の同等以下の量で存在し、酸はハロゲン化水素、カルボン酸、硝酸、硫酸から選択し、加水分解性置換基が1〜6の炭素原子を含むアルコキシである。

Claim (excerpt)：

共加水分解性のシランより可溶性の共加水分解物を製造する方法であって、HSi(OR)3 とSi(OR)4 の式で表されるシランの混合物であり、HSi(OR)3 対Si(OR)4 のモル比が3:1未満であって、各々のRは酸素原子によって珪素と結合したときに加水分解性の置換基を形成する独立した有機基であるシラン混合物と、酸素含有極性有機溶媒、水、及び酸を含む混合物を形成し、次いで共加水分解物が生成するに充分な時間まで該混合物中のシランの加水分解を促進する共加水分解物の製造方法。

IPC (4)：

C08G 77/02 NTZ ,  B05D 7/24 302 ,  C01B 33/113 ,  C09D183/04 PMS