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J-GLOBAL ID：200903018833064144

有機剥離液の成分濃度測定方法およびその測定装置

Inventor： 柳井 直樹 ,  横田 博 ,  木村 雅昭
Applicant, Patent owner： 倉敷紡績株式会社
Agent (1)： 青山 葆 (外1名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1994053497
Publication number (International publication number)：1994331541
Application date： Mar. 24, 1994
Publication date： Dec. 02, 1994
Summary：

【要約】【目的】 半導体製品や液晶表示装置等の製造工程においてプロセス用薬剤として使用される有機剥離液中の成分濃度を連続的に正確に同時定量することである。【構成】 光透過検出用のフローセル11中に測定対象の有機剥離液を導入し、データ処理装置53のマイクロプロセッサ54により、A/D変換器52でディジタル信号に変換された受光素子12の有機剥離液の透過光強度信号から各波長の光の吸光度をそれぞれ演算するとともに、演算した各波長の光の吸光度と多変量解析法により予め求めた検量線式に基づいて有機剥離液中の成分濃度を演算する。

Claim (excerpt)：

有機剥離液に光を透過又は反射させ、複数波長の光についてその各透過強度をそれぞれ検出し、その検出値に基づいて上記有機剥離液中の各成分濃度および水分値を測定する有機剥離液の成分濃度測定方法であって、成分濃度が既知の複数の有機剥離液のサンプルについて複数波長の光の吸光度を測定してこれら吸光度と有機剥離液の濃度との間の定数項を含む吸光度の多次多項式を用いて多変量解析法により検量線式を予め求めておき、光透過又は反射検出用のセルに測定対象の上記有機剥離液を導入し、各波長の上記光についてセル内の有機剥離液の透過又は反射光の透過強度値を測定し、これら強度値から各波長の上記光の吸光度をそれぞれ演算し、演算した各波長の上記光の吸光度と上記検量線式を用いて、上記有機剥離液中の各成分濃度および水分値を演算することを特徴とする有機剥離液の成分濃度測定方法。

IPC (2)：

G01N 21/35 ,  H01L 21/304 341