Pat

J-GLOBAL ID：200903018840559809

液晶表示装置

Inventor： 川元 暁
Applicant, Patent owner： 三菱電機株式会社
Agent (1)： 高田 守
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1992172766
Publication number (International publication number)：1994018922
Application date： Jun. 30, 1992
Publication date： Jan. 28, 1994
Summary：

【要約】【目的】 ドレイン電極パターニング時の現像液浸漬工程での画素電極ITOの腐食による不良がない液晶表示装置を得る。【構成】 透明絶縁基板14に複数のゲート電極線2を並設し、このゲート電極2,4に複数のソース電極線1を交差させ、このソース電極線1とゲート電極2,4の交差部において薄膜トランジスタのドレイン電極8がコンタクトホールを介して画素電極9のITOと直接コンタクトせず、別の金属を介して接続し、画素電極9は、完全にゲート絶縁膜4により保護される。【効果】 ドレイン電極パターニングの際の現像液浸漬時ドレイン電極のバリアメタルにピンホールがある場合でも、画素電極ITOは現像液に接触しない。

Claim (excerpt)：

透明絶縁性基板上に並設された複数のゲート電極線、このゲート電極線に交差する複数のソース電極線、上記電極線の交差部に設けられドレイン電極が画素電極インジュウム ティン オキサイドと直接コンタクトせずに金属電極とコンタクトした後に平面的に重ならない位置でこの金属電極と上記画素電極インジュウム ティン オキサイドがコンタクトする薄膜トランジスタ、およびこの薄膜ドレインに接続された画素電極を具備する薄膜トランジスタアレイ基板と、この薄膜トランジスタアレイ基板に対向して設けられた対向電極基板と、この対向電極基板と上記薄膜トランジスタアレイ基板の間に挟持される液晶表示材料とを備えた液晶表示装置。

IPC (4)：

G02F 1/136 500 ,  G02F 1/1343 ,  H01L 27/12 ,  H01L 29/784