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J-GLOBAL ID：200903018902428498
構成要素レンズ間にギャップを有する屈折レンズアセンブリを含む光学投射システム
Inventor：
,
Applicant, Patent owner：
Agent (1)：
中村 稔 (外6名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1992184119
Publication number (International publication number)：1993226218
Application date： Jul. 10, 1992
Publication date： Sep. 03, 1993
Summary：
【要約】【目的】 結像性能の改良された屈折レンズアセンブリを含む光学投射システムの提供。【構成】 エネルギー光線を発生させる露光エネルギー源と;エネルギー光線を受光し、光線を通過させる光線の進路に位置する光学要素と;エネルギー光線を受光し、伝送する光線の部分の進路に位置する屈折レンズアセンブリであって、少なくとも一つのメニスカスレンズ、平凸レンズ、及びメニスカスレンズと平凸レンズとの間に配置された屈折レンズアセンブリと;光線の部分の進路に位置するレチクル要素であって、均一な厚さを有し、光線をこの厚さ及びレンズアセンブリを経て光学要素へと通過させるように位置しているレチクル要素とを、備えた写真製版投射光学システム。屈折レンズアセンブリのエアギャップは、メニスカスレンズ及び平凸レンズの何れよりも低い屈折率を有するガラス層で置き換えることができる。
Claim (excerpt)：
エネルギー光線を発生させるための露光エネルギー源と、前記エネルギー光線を受光し、光線を通過させるための前記光線の進路に位置する光学要素と、前記エネルギー光線を受光し、伝送するための前記光線の前記部分の進路に位置する屈折レンズアセンブリと、前記光線の進路に位置するレチクル要素とを、備えた写真製版投射光学システムであって、前記レチクル要素は、均一な厚さを有し、前記光線を前記厚さ及び前記レンズアセンブリを経て前記光学要素へと通過させるシステムにおいて、前記屈折レンズアセンブリが、ほぼ同心的に向い合う面を有するように配置された少なくとも一つのメニスカスレンズ及び平凸レンズ、並びに球面収差補正を行なうためのモノセントリックギャップとを備え、前記ギャップが、前記メニスカスレンズと前記平凸レンズの前記ほぼ同心的に向い合う面の間の僅かな隙間により実質上構成されることに改良点を有するシステム。
IPC (4)：
H01L 21/027
, G03B 27/32
, G03F 7/20 521
, G02B 13/24
Cited by applicant (2)
Cited by examiner (2)
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