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J-GLOBAL ID：200903019014683273

プローブカード及びフロツグリング

Inventor： 岡本 秀孝 ,  石原 隆子
Applicant, Patent owner： 日本電信電話株式会社
Agent (1)： 長尾 常明
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1991160097
Publication number (International publication number)：1993041416
Application date： Jun. 03, 1991
Publication date： Feb. 19, 1993
Summary：

【要約】【目的】 高周波信号を扱うことができコネクタを使用しないプローブカード及び高周波信号を扱うことができるフロッグリングを各々実現すること。【構成】 プローブカードのプローブを探針とシールド導電層及びその間の絶縁層からなる同軸構造にし、その探針とシールド導電層を基板上の個別の接触端子に接続した。フロッグリングのポゴピンをスプリングピン構造の中心導体とシールド導電層及びその間の絶縁層からなる同軸構造にした。

Claim (excerpt)：

半導体ウエハ上に形成された半導体素子の電気特性試験の実施に使用されるプローブカードにおいて、探針と、該探針を先端を露出させて囲む絶縁層と、該絶縁層の外側に設けたシールド導電層とからなる同軸プローブを基板に設け、上記探針と上記シールド導電層を上記基板上面に設けた接触端子に接続したことを特徴とするプローブカード。

IPC (4)：

H01L 21/66 ,  G01R 1/06 ,  G01R 1/073 ,  G01R 31/26