圧電素子、圧電アクチュエーター、圧電ポンプ、インクジェット式記録ヘッド、インクジェットプリンター、表面弾性波素子、周波数フィルタ、発振器、電子回路、薄膜圧電共振器、および電子機器

Inventor： , , ,
Applicant, Patent owner：
Agent (3)：井上一 , 布施行夫 , 大渕美千栄
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2004171521
Publication number (International publication number)：2005353755
Application date： Jun. 09, 2004
Publication date： Dec. 22, 2005
Summary：

【課題】良好な圧電特性を有する圧電素子を提供する。【解決手段】本発明に係る圧電素子は,基体と、基体の上方に形成された圧電体膜6と、を含み、圧電体膜6は、複数の層からなり、複数の層のうちの少なくとも2層は、異なるリラクサー材料からなり、リラクサー材料は、ペロブスカイト型構造である。【選択図】図1

Claim (excerpt)：

基体と、前記基体の上方に形成された圧電体膜と、を含み、前記圧電体膜は、複数の層からなり、前記複数の層のうちの少なくとも2層は、異なるリラクサー材料からなり、前記リラクサー材料は、ペロブスカイト型構造である、圧電素子。

IPC (15)：

H01L41/09 , B41J2/045 , B41J2/055 , B41J2/16 , C04B35/46 , C04B35/49 , F04B9/00 , F04B43/04 , F04B53/00 , H01L41/187 , H01L41/22 , H01L41/24 , H03B5/30 , H03H9/17 , H03H9/25

FI (16)：

H01L41/08 C , C04B35/46 M , C04B35/49 F , F04B9/00 B , F04B43/04 B , H03B5/30 A , H03H9/17 F , H03H9/25 C , H01L41/18 101E , H01L41/18 101F , H01L41/08 J , H01L41/22 Z , H01L41/22 A , F04B21/00 N , B41J3/04 103H , B41J3/04 103A

F-Term (69)：

2C057AF93 , 2C057AG12 , 2C057AG42 , 2C057AG44 , 2C057AP02 , 2C057AP14 , 2C057BA03 , 2C057BA14 , 3H071AA01 , 3H071BB01 , 3H071CC11 , 3H071DD04 , 3H071DD42 , 3H071DD89 , 3H071EE15 , 3H075AA01 , 3H075BB04 , 3H075BB21 , 3H075CC11 , 3H075CC36 , 3H075CC40 , 3H075DA05 , 3H075DB02 , 3H077AA01 , 3H077CC02 , 3H077CC07 , 3H077DD06 , 3H077EE05 , 3H077EE40 , 3H077FF08 , 3H077FF36 , 4G031AA03 , 4G031AA07 , 4G031AA11 , 4G031AA12 , 4G031AA14 , 4G031AA15 , 4G031AA18 , 4G031AA21 , 4G031AA22 , 4G031AA23 , 4G031AA26 , 4G031AA27 , 4G031AA30 , 4G031AA32 , 4G031BA10 , 4G031CA01 , 4G031CA02 , 4G031CA03 , 4G031CA08 , 4G031GA02 , 4G031GA06 , 4G031GA07 , 4G031GA09 , 4G031GA11 , 5J079AA08 , 5J079BA43 , 5J079BA44 , 5J079HA06 , 5J079HA22 , 5J079KA08 , 5J097AA28 , 5J097BB02 , 5J097EE08 , 5J097FF01 , 5J097HA03 , 5J097KK09 , 5J108BB05 , 5J108CC11

Patent cited by the Patent：

Cited by applicant (1)

圧電体素子、インクジェット式記録ヘッド及びこれらの製造方法並びにインクジェットプリンタ
Gazette classification：公開公報 Application number：特願2000-030472 Applicant：セイコーエプソン株式会社

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