Pat

J-GLOBAL ID：200903019034568314

加速度センサ

Inventor： 櫟原 勉 ,  友成 恵昭 ,  松嶋 朝明
Applicant, Patent owner： 松下電工株式会社
Agent (1)： 佐藤 成示 (外1名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1993240145
Publication number (International publication number)：1995092187
Application date： Sep. 27, 1993
Publication date： Apr. 07, 1995
Summary：

【要約】【目的】 定加速度も測定できる加速度センサの構造を提供する。【構成】 中空部2aを有する基板2上に、中空部2aを覆うように周辺部が基板2に支持されていると共に、中空部2a上方に、片持ち梁構造のカンチレバー3bが形成された熱絶縁膜3と、カンチレバー3b上面に形成され、温度変化により抵抗値が変化するサーミスタ6とを具備した。【効果】 定加速度の測定が可能となる。

Claim (excerpt)：

中空部を有する基板と、前記中空部を覆うように周辺部が基板に支持されていると共に、前記中空部上方に片持ち梁構造のカンチレバーが形成された熱絶縁膜と、前記カンチレバー上面に形成され、温度変化により抵抗値が変化する感温抵抗体として薄膜抵抗体を用いたサーミスタとを具備したことを特徴とする加速度センサ。

IPC (2)：

G01P 15/12 ,  G01P 21/00