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J-GLOBAL ID：200903019079676878

支持方法及び支持装置、露光装置

Inventor： 白数 廣
Applicant, Patent owner： 株式会社ニコン
Agent (1)： 志賀 正武 (外5名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2000352708
Publication number (International publication number)：2002156571
Application date： Nov. 20, 2000
Publication date： May. 31, 2002
Summary：

【要約】【課題】 大型の光学素子でも歪みを抑えつつ安定して支持できる光学素子の支持方法及び支持装置、並びに露光装置を提供することを目的とする。【解決手段】 露光装置EXを構成する光学素子PUを支持するための支持装置Kは、光学素子PUを支持する剛性体からなる複数の支持部材11a〜11cと、これら支持部材11a〜11cの間に設けられ、光学素子PUのうち支持部材11a〜11cが支持する以外の部分を支持する可撓性のチューブ12とを備え、チューブ12の内部に形成された空間12aにはエアが満たされている。光学素子PUは、支持装置Kによって高い設置精度で歪むことなく安定して支持されるので、露光装置EXの露光精度は向上する。

Claim (excerpt)：

光学素子を支持する支持方法において、前記光学素子の複数の所定位置に剛性体からなる支持部材をそれぞれ設けるとともに、該支持部材の間に可撓性の管状部材を設け、前記管状部材の内部に形成された空間に所定の流体を満たして、前記光学素子を前記支持部材及び前記管状部材によって支持することを特徴とする支持方法。

IPC (3)：

G02B 7/02 ,  G03F 7/20 521 ,  H01L 21/027

FI (3)：

G02B 7/02 A ,  G03F 7/20 521 ,  H01L 21/30 515 D

F-Term (8)：

2H044AA15 ,  2H044AA20 ,  5F046BA03 ,  5F046CB12 ,  5F046CB20 ,  5F046CB23 ,  5F046CB25 ,  5F046CB27