マイクロバルブ装置及びその製作方法

Inventor： ,
Applicant, Patent owner：
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2000127429
Publication number (International publication number)：2001304440
Application date： Apr. 27, 2000
Publication date： Oct. 31, 2001
Summary：

【要約】 (修正有)【課題】マイクロ流体装置の製作を簡単化すること【解決手段】一個または複数の一方弁マイクロバルブユニット3によって一方弁マイクロバルブ装置または三方弁マイクロバルブ装置Aを構成した。図は三方弁マイクロバルブ装置の例であり、作動流体流路が入口ポートln1、ln2及び出口ポートOutからきてチップの中央で合する。それぞれの流路は一方弁マイクロバルブユニット3を有している。一方弁マイクロバルブユニット3は通常はメンブレンと弁座が接して閉じている。外部の駆動空気負圧が制御ポートC1、C2、C3を介して供給され、メンブレンを一方弁マイクロバルブユニット3を開く方向に変位させる。

Claim (excerpt)：

一個または複数の一方弁マイクロバルブユニットによって構成したことを特徴とするマイクロバルブ装置。

IPC (4)：

F16K 11/22 , B81B 3/00 , F16K 7/17 , F16K 31/126

FI (4)：

F16K 11/22 Z , B81B 3/00 , F16K 7/17 Z , F16K 31/126 Z

F-Term (27)：

3H056AA01 , 3H056AA07 , 3H056AA08 , 3H056BB32 , 3H056CA08 , 3H056CB03 , 3H056CD04 , 3H056DD08 , 3H056EE01 , 3H056FF10 , 3H056GG03 , 3H056GG14 , 3H067AA01 , 3H067AA28 , 3H067AA32 , 3H067BB08 , 3H067BB14 , 3H067CC32 , 3H067DD05 , 3H067DD33 , 3H067EA28 , 3H067EB28 , 3H067EC14 , 3H067EC17 , 3H067FF12 , 3H067GG02 , 3H067GG21

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (1)

膜を含むマイクロストラクチャを製造する方法
Gazette classification：公表公報 Application number：特願平9-503781 Applicant：フアーマシア・バイオテツク・アー・ベー

Return to Previous Page