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J-GLOBAL ID：200903019114084407

集積回路用測定電極

Inventor： 中野 勝吉 ,  水野 裕司
Applicant, Patent owner： エージングテスタ開発協同組合
Agent (1)： 中村 稔 (外6名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1994080116
Publication number (International publication number)：1995288271
Application date： Apr. 19, 1994
Publication date： Oct. 31, 1995
Summary：

【要約】【構成】 集積回路用測定電極は、複数個の集積回路を配列しそれらのパッド部を一面に配設した被検体の測定のために使用されるもので、中継基板と、接点ブロックと、中継基板と接点ブロックとの間に配設される第1の導電および緩衝部材と、中継基板、接点ブロックおよび第1の導電および緩衝部材を互いに位置決め保持するための支持基台とを備え、接点ブロックは、被検体のパッド部の各々に対して接触しうる接触部を有した接点を備え、各接点は、第2の導電および緩衝部材によってその接点ブロックに保持されている。【効果】 単体の被検体は勿論のこと、ウエハーや多数の大規模な集積回路の局部および大局的な歪や屈曲にも対応でき、被検体のパッド部と高精度で信頼性の高い接触を行えると共に、組立て工数や時間を大幅に短縮できる経済性の高いプローバを与えることができる。

Claim (excerpt)：

複数個の集積回路を配列しそれらのパッド部を一面に配設した被検体の測定のために使用される集積回路用測定電極において、中継基板と、接点ブロックと、前記中継基板と前記接点ブロックとの間に配設される第1の導電および緩衝部材と、前記中継基板、前記接点ブロックおよび前記第1の導電および緩衝部材を互いに位置決め保持するための支持基台とを備えており、前記接点ブロックは、前記被検体の前記パッド部の各々に対して接触しうる接触部を有した接点を備えており、該各接点は、その接点ブロックに対してその接点が前記パッド部に対する接触方向において移動しうるようにする第2の導電および緩衝部材によってその接点ブロックに保持されており、前記接点ブロックには、各接点に対応してその第2の導電および緩衝部材を介してその接点に電気的に接続されるベースラウンドが設けられており、前記中継基板には、前記接点の各々に対応し外部測定機器へと電気的に引き出される対向ラウンドが配列されており、前記第1の導電および緩衝部材は、互いに対応する前記ベースラウンドと前記対向ラウンドとを電気的に接続すると共に、前記接点ブロックが前記接触方向において前記中継基板に対して移動しうるようにすることを特徴とする集積回路用測定電極。

IPC (3)：

H01L 21/66 ,  G01R 31/26 ,  G01R 31/28