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J-GLOBAL ID：200903019132460467

共焦点用スキャナ、共焦点顕微鏡および共焦点用スキャナの製造方法

Inventor： 寺田 浩敏
Applicant, Patent owner： 浜松ホトニクス株式会社
Agent (1)： 長谷川 芳樹 (外3名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1994054048
Publication number (International publication number)：1995261090
Application date： Mar. 24, 1994
Publication date： Oct. 13, 1995
Summary：

【要約】【目的】 タンデムスキャン型の共焦点顕微鏡において光源から発せられた照射光を効率良く試料へ導く共焦点用スキャナ、この共焦点用スキャナを使用した共焦点顕微鏡、および共焦点用スキャナの製造方法を提供する。【構成】 本発明の共焦点用スキャナ200では、ニポー円盤などのスキャン用微小開口円盤230の微小開口への集光にホログラフックスキャナ板210使用して、光源部100から発せられた照射光を効率良く微小開口へ導く。また、この共焦点スキャナ200を使用してタンデムスキャン型の共焦点顕微鏡を構成し、暗い試料の観察が可能とする。また、本発明の共焦点スキャナの製造方法では、機構的には完成品と同一の構造体を構成後、照射光とは逆経路でスキャン用微小開口円盤を介した光を使用してホログラム乾板215にホログラムを形成して照射光の集光用のホログラフックスキャナ板210を製造する。

Claim (excerpt)：

光源部から出力された照射光を受光し、受光領域の各点の位置に応じて照射光の出力方向を設定するホログラフィックスキャナ板と、前記ホログラフィックスキャナ板から出力された照射光を集光する第1の光学系と、前記第1の光学系を介した照射光を受光し、形成された複数の微小開口に入射した照射光のみを透過する微小開口板と、前記ホログラフィックスキャナ板と前記第1の光学系との間に配設され、前記ホログラフィックスキャナ板を介した照射光の少なくとも一部を前記第1の光学系に向けて出力するとともに、前記微小開口板および前記第1の光学系を順次介した前記試料で照射光が反射された反射光の少なくとも一部を照射光の光路方向および照射光の光路方向の逆方向とは異なる方向に出力する光分岐器と、前記ホログラフィックスキャナ板と前記微小開口板との相対的な配置を変更せずに、前記光源および前記第1の光学系に対して周期的に駆動する駆動器と、を備え、前記ホログラフィックスキャナ板に形成されたホログラムは、回折の結果、前記ホログラフィックスキャナ板を介した照射光が分岐器および前記第1の光学系を介した後、前記微小開口板に形成されたいずれかの微小開口に到達する方向へ進行するパターンに形成される、ことを特徴とする共焦点用スキャナ。

IPC (4)：

G02B 21/00 ,  G02B 26/10 106 ,  G03H 1/02 ,  G03H 1/04