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J-GLOBAL ID：200903019134993942
マイクロレンズアレイおよびその製作法
Inventor：
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Applicant, Patent owner：
Agent (1)：
杉村 暁秀 (外1名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1991223713
Publication number (International publication number)：1993045504
Application date： Aug. 09, 1991
Publication date： Feb. 23, 1993
Summary：
【要約】【目的】 低い温度で製作でき、かつ画像情報処理素子や光集積回路素子の小形化と高性能化を図ることのできる、耐熱性および信頼性に優れたマイクロレンズアレイを提供することにある。【構成】 基板11の上に形成されたマイクロレンズアレイにおいて、マイクロレンズアレイを構成するマイクロレンズ14と基板11との境界面が基板11と同一平面上にあり、そのマイクロレンズ14が無機物から成るマイクロレンズアレイである。
Claim (excerpt)：
基板上に形成されたマイクロレンズアレイにおいて、マイクロレンズアレイを構成するマイクロレンズと基板との境界面が、前記基板と同一平面上にあり、そのマイクロレンズが無機物から成ることを特徴とするマイクロレンズアレイ。
Patent cited by the Patent：
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