Pat
J-GLOBAL ID:200903019136631029
ホログラムカラーフィルター検査装置
Inventor:
Applicant, Patent owner:
Agent (1):
韮澤 弘 (外7名)
Gazette classification:公開公報
Application number (International application number):1995181697
Publication number (International publication number):1997033392
Application date: Jul. 18, 1995
Publication date: Feb. 07, 1997
Summary:
【要約】【目的】 ホログラムカラーフィルターを構成する集光性の要素ホログラム各々の面内位置、焦点距離、回折効率等が設計通りの精度に作製されているか否かを検査する。【構成】 集光性の要素ホログラムを周期的に配置したアレーからなり、各要素ホログラムが記録面の法線に対して角度をなして入射する白色光を記録面に沿う方向に波長分散させて分光するホログラムカラーフィルター5の検査装置でありて、ホログラムカラーフィルターに所定波長の照明光を所定の入射角θで照射するレーザー12と、各要素ホログラムの結像点に対応するホログラム記録面に平行な結像面での輝度分布画像を撮像するCCDラインセンサ17と、得られた輝度分布画像の各集光スポット像の位置、径、輝度の何れかの値を算出するコンピュータ24とを有する。
Claim (excerpt):
集光性の要素ホログラムを周期的に配置したアレーからなり、各要素ホログラムが記録面の法線に対して角度をなして入射する白色光を記録面に沿う方向に波長分散させて分光するホログラムカラーフィルターの検査装置において、ホログラムカラーフィルターに所定波長の照明光を所定の入射角で照射する照明手段と、各要素ホログラムの結像点に対応するホログラム記録面に平行な結像面での輝度分布画像を撮像する撮像手段と、得られた輝度分布画像の各集光スポット像の位置、径、輝度の何れかの値を算出する算出手段とを有することを特徴とするホログラムカラーフィルター検査装置。
IPC (5):
G01M 11/00
, G02B 5/20
, G02B 5/20 101
, G02B 5/32
, G02F 1/1335 505
FI (5):
G01M 11/00 T
, G02B 5/20
, G02B 5/20 101
, G02B 5/32
, G02F 1/1335 505
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