193NMリソグラフィーのためのヒドロキシ-アミノ熱硬化下塗り

Inventor： , , , ,
Applicant, Patent owner：
Agent (1)：高木千嘉 (外2名)
Gazette classification：公表公報
Application number (International application number)：2000604269
Publication number (International publication number)：2002539473
Application date： Mar. 10, 2000
Publication date： Nov. 19, 2002
Summary：

【要約】本発明は熱硬化性ポリマー組成物、及びそれで被覆した光リソグラフィー基板に関し、前記組成物はヒドロキシル含有ポリマー、アミノ架橋剤及び熱酸発生剤からなる。熱硬化性ポリマー組成物は溶媒に溶解しそして深紫外光リソグラフィーにおける下塗り層として使用することができる。

Claim (excerpt)：

ヒドロキシル含有ポリマー、アミノ架橋剤及び熱酸発生剤からなる熱硬化性ポリマー組成物。ここで前記ヒドロキシル含有ポリマーはシクロヘキサノール、ヒドロキシスチレン、ヒドロキシアルキルアクリレート又はメタクリレート、ヒドロキシシクロアルキルアクリレート又はメタクリレート、ヒドロキシアルキルシクロアルキルアクリレート又はメタクリレート、アリールアルキルアルコール及びアリルアルコールからなる群より選ばれるモノマー単位からなる。

IPC (5)：

G03F 7/11 503 , G03F 7/039 601 , G03F 7/26 511 , G03F 7/40 521 , H01L 21/027

FI (7)：

G03F 7/11 503 , G03F 7/039 601 , G03F 7/26 511 , G03F 7/40 521 , H01L 21/30 502 R , H01L 21/30 573 , H01L 21/30 574

F-Term (25)：

2H025AB16 , 2H025AC04 , 2H025AD03 , 2H025BE00 , 2H025BE07 , 2H025BG00 , 2H025DA40 , 2H025FA03 , 2H025FA12 , 2H025FA17 , 2H025FA41 , 2H096AA25 , 2H096BA11 , 2H096BA20 , 2H096CA05 , 2H096EA03 , 2H096FA01 , 2H096GA08 , 2H096HA23 , 2H096KA06 , 2H096KA19 , 5F046NA05 , 5F046NA12 , 5F046NA15 , 5F046PA08

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (11)

感放射線性樹脂組成物
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平9-131948 Applicant：ジェイエスアール株式会社
ハレーション止め組成物
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平4-328816 Applicant：シツプリイ・カンパニイ・インコーポレイテツド
ヒドロキシル官能性アクリル系付加重合体及びこれを含有する被覆剤組成物
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平7-080548 Applicant：インペリアル・ケミカル・インダストリーズ・ピーエルシー

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