荷電粒子線装置

Inventor： ,
Applicant, Patent owner：
Agent (1)：小川勝男
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1998368943
Publication number (International publication number)：2000195453
Application date： Dec. 25, 1998
Publication date： Jul. 14, 2000
Summary：

【要約】【課題】電子線と電子レンズの光軸の不一致に起因して発生する軸ずれ等を抑制することを目的とする。【解決手段】本発明によれば、荷電粒子線の照射位置、及び前記走査偏向器による前記荷電粒子線の偏向範囲の推移に基づいて前記荷電粒子線と前記電子レンズの光軸との差異を検出することで軸ずれを検出し、間欠的に前記荷電粒子線を遮蔽する遮蔽部を有する二次元検出器に走査偏向器の走査に連動して前記荷電粒子線に対する非点補正量を変更する機能を有する非点補正装置を設けることによって非点補正量を特定する。

Claim (excerpt)：

荷電粒子源と、当該荷電粒子源から放出された荷電粒子線を収束する電子レンズと、前記荷電粒子線を偏向する偏向器と、前記荷電粒子線の照射個所に配置されると共に、前記偏向器によって変化する前記荷電粒子線の照射位置を検出する二次元検出器と、当該二次元検出器で得られる前記荷電粒子線の照射位置、及び前記走査偏向器による前記荷電粒子線の偏向範囲の推移に基づいて前記荷電粒子線と前記電子レンズの光軸との差異を検出する検出手段を備えたことを特徴とする荷電粒子線装置。

IPC (3)：

H01J 37/04 , H01J 37/147 , H01J 37/153

FI (3)：

H01J 37/04 B , H01J 37/147 B , H01J 37/153 B

F-Term (11)：

5C030AA07 , 5C030AA08 , 5C030AB02 , 5C030AB03 , 5C033FF03 , 5C033FF06 , 5C033FF09 , 5C033GG04 , 5C033JJ01 , 5C033JJ02 , 5C033NN07

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (7)

特開平2-234336
特開平4-104439
特開平2-056839

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