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J-GLOBAL ID：200903019294500390

機械量センサ素子

Inventor： 出口 正洋 ,  北畠 真
Applicant, Patent owner： 松下電器産業株式会社
Agent (1)： 池内 寛幸 (外1名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1995060332
Publication number (International publication number)：1996261853
Application date： Mar. 20, 1995
Publication date： Oct. 11, 1996
Summary：

【要約】【目的】 特定の部分にダイヤモンドを用いることにより、高温領域における動作が可能でかつ高ゲージ率Gを有する機械量センサ素子を提供する。【構成】 機械量センサ素子を、機械量が印加される部材(ダイアフラム3、カンチレバー4、支柱5、空洞体6)と、前記部材の所定の位置に配置され、前記部材から印加機械量の作用を受けるダイヤモンドからなる抵抗体1とにより構成する。そして、ダイヤモンド抵抗体1の抵抗値変化を測定することによって各々の機械量を検知する。

Claim (excerpt)：

印加機械量を検知する機械量センサ素子であって、機械量が印加される部材と、前記部材の所定の位置に配置され、前記部材から印加機械量の作用を受けるダイヤモンドからなる抵抗体とを少なくとも備えたことを特徴とする機械量センサ素子。

IPC (5)：

G01L 9/04 101 ,  C30B 29/04 ,  G01B 7/16 ,  G01D 5/16 ,  G01L 1/18

FI (5)：

G01L 9/04 101 ,  C30B 29/04 D ,  G01L 1/18 ,  G01B 7/18 G ,  G01D 5/16 Z